הסיבה והפתרון להשפלת פלזמה O-ring

אינדיקציות חזותיות: סמן מפתח הוא אובדן חומרי אחיד על פני החלק שנמצא במגע עם הפלזמה. במקרים מסוימים ניתן להבחין בשאריות אבקתיות על משטח החותם ושינויי צבע, בהתאם לסוג המילוי של החומר.

סיבה: פלזמות מורכבות מגזים מיוננים בעלי אנרגיה גבוהה במיוחד ו / או רדיקלים התוקפים את עמוד השדרה האורגני של החומר ויוצרים מולקולות או חלקיקים קטנים. התחריט מתרחש כהפצצת יונים, יחד עם התקפה כימית.

הפיתרון: עם חשיפה לטווח הארוך לפלזמה, נזק לאטימות בלתי נמנע. התאימות הכימית של החומר יכולה לעזור להתנגד לנזק לאורך זמן, לשפר את אורך חיי האיטום ולהפחית את ההשפעה של זמן השבתת הציוד. שאל את מומחה חותם ה- Xlong לגבי חומרים המספקים עמידות בפלזמה הדומה או עדיפה על הרבה ציוני FFKM בעלי טוהר גבוה.